Обозначение: | ГОСТ 8.592-2009 |
Обозначение англ: | GOST 8.592-2009 |
Текущий статус документа: | действует |
Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
Название документа англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measure. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата введения: | 01.11.2010 |
Область применения: | Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в степени минус девять до 10 в степени минус шесть м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
Разработан: | ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
|
Утверждён: | 11.11.2009 Межгоссовет по стан., метр. и сертиф. (Inter-Governmental Commission for Standardization, Metrology, and Certification 36) 05.04.2010 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (56-ст)
|
Издан: | Стандартинформ (2010 г. )
|
Нормативные ссылки: | |