Утвержден Постоянной Комиссией по
сотрудничеству в области стандартизации Дрезден, декабрь 1983 г.
Настоящий стандарт СЭВ распространяется на пластины
монокристаллического кремния (далее - пластины), предназначенные для
производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Размеры пластин должны соответствовать приведенным
в таблице.
|
Диаметр,
mm
|
Толщина, mm
|
Длина основного среза, mm
|
Длина вспомогательного среза, mm
|
Закругленность края пластины, mm
|
|
Номин.
|
Пред. откл.
|
Номин.
|
Пред. откл.
|
Глубина
|
Ширина
|
|
51
|
±0,5
|
230
|
±20
|
От 16 до 20
|
От 6 до 11
|
От 40 до 120
|
От 75 до 500
|
|
250
|
|
275*
|
|
325
|
|
330
|
|
60
|
300*
|
От 18 до 22
|
От 8 до 10
|
|
350
|
|
76
|
350
|
От 19 до 27
|
От 9 до 15
|
От 50 до 220
|
От 75 до 1000
|
|
375
|
|
380*
|
|
450
|
|
457
|
|
510
|
|
100
|
±0,8
|
460
|
±25
|
От 30 до 35
|
От 16 до 20
|
|
500*
|
|
525
|
|
575
|
|
625
|
|
125
|
±1,0
|
500
|
От 35 до 45
|
От 20 до 30
|
|
560
|
|
600*
|
|
625
|
|
650
|
|
675
|
|
150
|
600
|
От 47 до 53
|
От 24 до 30
|
|
650*
|
|
700
|
|
850
|
* Предпочтительные числовые
значения величин.
ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРИЛОЖЕНИЕ
ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ
|
Термин
|
Определение
|
|
1. Пластина
|
Часть монокристалла кремния, ограниченная двумя параллельными
поверхностями
|
|
2. Срез
|
Прямой край пластины, образуемый удалением сегмента
|
|
3. Основной срез
|
Срез наибольшей длины, ориентированный по отношению к
кристаллографическим направлениям и плоскостям кристалла
|
|
4. Вспомогательный срез
|
Срез
используемый для маркировки пластины
|
|
5. Закругленность края пластины
|
Обработанный край пластины (см. чертеж)
|
Допускается скругление края пластины в
пределах полей допусков.
ИНФОРМАЦИОННЫЕ
ДАННЫЕ
1. Автор - делегация ЧССР в Постоянной Комиссии по сотрудничеству в области
радиотехнической и электронной промышленности.
2. Тема 18.600.06-81.
3. Стандарт СЭВ утвержден на
54-м заседании ПКС.
4. Сроки начала применения стандарта СЭВ:
|
Страны
- члены СЭВ
|
Сроки начала применения стандарта СЭВ
|
|
в договорно-правовых отношениях по экономическому и
научно-техническому сотрудничеству
|
в народном хозяйстве
|
|
НРБ
|
Июль 1985 г.
|
Июль 1985 г.
|
|
ВНР
|
Июль 1985 г.
|
Июль 1985 г.
|
|
СРВ
|
|
|
|
ГДР
|
Июль 1985 г.
|
Июль 1985 г.
|
|
Республика Куба
|
|
|
|
МНР
|
|
|
|
ПНР
|
|
|
|
СРР
|
-
|
-
|
|
СССР
|
Июль 1985 г.
|
Июль 1985 г.
|
|
ЧССР
|
Июль 1985 г.
|
Июль 1985 г.
|
5. Срок проверки - 1990 г.
