| Обозначение: | ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Текущий статус документа: | действующий |
| Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название документа англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
| Дата издания: | 10.02.2011 |
| Дата введения: | 01.02.2008 |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
| Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов |
| Список изменений: | №1 от 01.04.2011 (рег. 12.11.2010) «Срок действия продлен» |
| Приложение №1: | Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 |
|
