Обозначение: | ГОСТ 26239.5-84 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
Название документа англ.: | Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 21.01.1985 |
Дата введения: | 01.01.1986 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце.
Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01 |
Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен» |
|