Обозначение: | ГОСТ 26239.8-84 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
Название документа англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 21.01.1985 |
Дата введения: | 01.01.1986 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен» |
|