Обозначение: | ГОСТ 5.2105-73 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
Название документа англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 04.10.1973 |
Дата введения: | 31.08.1973 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
|