Обозначение: | ГОСТ 26239.1-84 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
Название документа англ.: | Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 21.01.1985 |
Дата введения: | 01.01.1986 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен» |
|