Обозначение: | ГОСТ Р 8.640-2008 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
Название документа англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 15.05.2008 |
Дата введения: | 01.01.2009 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|