Обозначение: | ГОСТ 8.593-2009 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки |
Название документа англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 10.06.2010 |
Дата введения: | 01.11.2010 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 |
|