Обозначение: | ГОСТ Р 8.636-2007 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки |
Название документа англ.: | State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 16.01.2008 |
Дата введения: | 31.07.2008 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 |
|