Обозначение: | ГОСТ 25661-83 |
Текущий статус документа: | действующий |
Название документа рус.: | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
Название документа англ.: | Installations for final water treatment. General technical requirement |
Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
Дата издания: | 01.10.2003 |
Дата введения: | 01.01.1984 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
Список изменений: | №1 от 01.01.1989 (рег. 29.06.1988) «Срок действия продлен» |
|