| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.628-2007 |
| Текущий статус документа: | действует |
| Название документа рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название документа англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата актуализации текста: | 01.12.2013 |
| Дата введения: | 01.02.2008 |
| Область применения: | Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
| Разработан: | ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
|
| Утверждён: | 21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (96-ст)
|
| Издан: | Стандартинформ (2007 г. )
Стандартинформ (2011 г. )
|
| Список изменений: | |
| Нормативные ссылки: | |
ГОСТ 19658-81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия»
